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標準ガス・高純度ガス圧力調整器 S-LABO S1 S1-1VR-1G5G-B6N1 日酸TANAKA

商品説明・詳細
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商品情報

日酸ＴＡＮＡＫＡ(株) S-LABO S1シリーズ
特長
・多種類のガスに対応可能な本体材質ステンレス製
・外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用
・純度維持のために、クラス10 000のクリーンルームで生産
・純度維持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用
・出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵
用途：分析、供給における高純度ガス供給用（本体SUS製、一段減圧式）
商品スペック
仕様・規格
・型式：S1-1VR-1G5G-B6N1
・入口接続：20.9-14左メス
・流体：標準ガス、ゼロガス、高純度ガス
・1次側圧力計(MPa)：25
・1次側使用圧力(MPa)：15
・出口接続：M16x1.5右オス、ニードルバルブ付
・標準流量(L/min)：250L/min(nor)（P1=10MPa P2=1MPa 使用ガス：N2ガス）
・2次側圧力計(MPa)：1.5
・2次側使用圧力(MPa)：0.02～1.0
・材質：SUS316L本体: ステンレス(SUS316L)
・質量・質量単位：1.6kg
使用条件：使用温度範囲：-10～40℃
注意事項
・半導体用ガスにはご使用になれません。
セット内容・付属品
・JIS2号ホース口、1/4”ストレート単管（ステンレス製）、袋ナット

※掲載写真は代表画像です。(S1-1VR-1G5G-B1N1)

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